我是苏暖即将上线在线观看全集免费完整版HD中字 雪梨 我是苏暖即将上线在线观看全集免费完整版HD中字 雪梨 ,chaopen在线观看 chaopen高清无删减 雪梨影院 chaopen在线观看 chaopen高清无删减 雪梨影院

发布日期:2021年12月08日
600系列光刻机 —— IC前道制造


SSA600/20

SSC600/10

SSB600/10

SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。
   主要技术参数

型号 SSA600/20我是苏暖即将上线在线观看全集免费完整版HD中字 雪梨 我是苏暖即将上线在线观看全集免费完整版HD中字 雪梨 ,chaopen在线观看 chaopen高清无删减 雪梨影院 chaopen在线观看 chaopen高清无删减 雪梨影院 SSC600/10 SSB600/10
分辨率 90nm 110nm 280nm
曝光光源 ArF excimer laser KrF excimer laser i-line mercury lamp
镜头倍率 1:4 1:4 1:4
硅片尺寸 200mm或300mm 200mm或300mm 200mm或300mm